Sekrup Pompa Vakum
Pompa vakum ulir adalah pompa perpindahan positif kering bebas oli. Komponen utamanya adalah sepasang rotor ulir yang saling bertautan presisi dan berputar berlawanan arah secara sinkron di dalam ruang pompa. Dengan menjaga jarak bebas non-kontak yang sangat kecil antara rotor dan ruang, pompa ini memindahkan gas dari port hisap ke port buang melalui aksi pengaitan sekrup yang terus-menerus. Keunggulan utamanya adalah kecepatan pemompaan yang stabil di seluruh rentang vakum yang luas, kemampuan untuk menangani uap terkondensasi dalam jumlah besar (seperti uap air) dan debu dalam jumlah kecil secara langsung, serta kinerja yang kuat dalam kondisi proses "kotor" dengan perawatan yang rendah. Pompa ini merupakan alternatif yang bersih dan efisien untuk pompa vakum bersegel oli tradisional dalam industri seperti semikonduktor, kimia, pelapis, dan farmasi.